ニューエッチングオプションのキーコンポーネントは、バキュームエッチングである。水たまりの影響を最小限に抑えるため、ノズルパイプの間に吸引ランスを設置し、使用済みのエッチング液をモジュールタンク内に取り込みます。強力なバキュームブロワーにより、常に真空状態を実現。高さ調整可能な吸引ランスが使用済みエッチング液を取り込んでも、空気が漏れても、ウォータージェットポンプとは異なり、真空状態が崩れることはありません。その結果、エッチング速度が完全に均一になり、ケミストリーの消費量も少なくなります。
ノズル構成
最適化されたノズル構成により、シュミッドシステムは、エッチングされるあらゆるデザインに適応し、エッチングプロセスを改善することができるため、最大限の柔軟性を提供します。ノズルの均一な圧力分布(最大4バールのスプレー圧力)は、エッチング結果を向上させるだけでなく、エッチング速度を増加させることができます。その結果、その後の断続的なエッチングのプロセス時間が短縮されます。
の工程時間が短縮されます。
最適化された搬送システム
標準化されたエッチングモジュール内の搬送ディスクローラーの配置を最適化することで、もう一つのニューエッチングオプションを実現しました。真空エッチングに加え、搬送ディスクローラーの設計と配置の改善により、プロセスケミストリーのドレイン挙動を改善し、水溜まり効果を顕著に減少させることができます。
L/S 6による特に微細な構造のCuCl2エッチング
均一なディファレンシャルエッチング:銅除去40μm、StDev1.6
エッチング速度が最大20%向上
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