バルク積荷装置

自動

マルチレーンローダ、メトロロジー、セルダイバータからなるモジュール設計により、ロードセルラインをスループット、トラック数、スペース要件に最適に適合させることができます。次のセルプロセスでは、ウェーハは1つまたは2つのフィードイントラックから10トラックに、または1つのトラックから5つのトラックに搬送されます。 より高度な品質管理要求に対応するため、検査オプションを追加することも可能です（ホールおよびクラック認識、表面測定、ライフタイムおよび抵抗測定）。 プロセス開始前の品質管理 最大7600枚/時の高スループットを実現 最大10トラックまでのプロセスシステムに対応 メトロロジーシステムに先立ち、ブレークエージ除去を実施