XYZ軸配置システム

自動高精度

シュネーベルガーの超高精度なモーションプラットフォームにより、パネルの効率性向上を支援します。接合点や死角の最小化と、性能の最大化を重要視しています。 薄膜や結晶の技術とは別に、当社は、基板やプロセスヘッドの移動を最高精度で行うための最適なソリューションを提供します。 POI* における "太陽光" の標準仕様 設定:Y (ガントリー) + xX + Z トラベルl:最大 3500 x 2700mm 精度:≤ 10 µm (TIR 超の場合、マップ済み) 再現性:≤ 2 µm 安定性:無関係 (浮遊による補償) 移動および停止:< 500ms (300mm の場合) Cst 速度:< 0.01% (<1000mm/s の場合) 真直度:< 20um (3000mm 超) 平面度:< 20um (3000mm 超の場合)