XYZ軸配置システム

リニア真空

EUV、ガス抜け、ポンプ時間、安定性、磁気撹乱は、真空システムのレイアウトにあたって考慮する主なパラメーターです。これらのパラメーターは、厳しい環境・性能条件下においてモーションソリューションを完全なものとする他のあらゆる関連パラメーターとともに考慮されます。 当社のシステムは、特に10^9mbar までの分圧下において動作するように開発され、リニアモーター (シールドを含む) から圧電素子により駆動するユニットや特殊ケーブルまでのコンポーネントを統合しています。 関連するすべての機械加工部品 (アルミニウムおよび/または SUS) を内製しており、清浄度とガス抜けのレベルが完璧に制御できるようにしています。 すべての真空システムは、当社のクリーンルームで組立、試験、梱包を行っています。クリーンルームは、お客様の生産リズムを十分に満たすように設計されています。 POI* における "真空" 向けの標準仕様 設定:XYZT または + Z (傾き?) トラベル:最大 400 x 500mm 精度:≤ 10 µm (TIR 超の場合、マップ済み) 再現性:≤ 0.1 µm 安定性:≤ 2 nm (1s ptp 内) 移動および停止:< 120ms (25mm の場合) Cst 速度:< 0.01% (<100mm/s の場合) 真直度:< 5um (300mm 超の場合) 平面度:< 5um (300mm 超の場合)