3軸配置システム

門型ウェハー検査および計測学用高精度

カスタム化フラットパネルディスプレイ・ソリューション 要求の厳しい FPD 業界向けソリューションは、AOI からフォトスペーサー測定用アレイテスターまで、幅広く対応します。全世界で、800 を超えるシステムの設置経験があります。システムの中には、アジアで直接に製造・組み立てしたものもあります。 TCO を達成するため、シュネーベルガーは花崗岩に替わる独自のミネラルキャストを新しく導入しました。 このキャストは高い減衰構造を備え、例えば、システム全体の重量を最適化することにより、取扱・出荷の費用を削減します。 ミネラルキャストについて詳しく見る POI* における "大型システム" の典型的仕様 設定:XYZ または + Z (ガントリー) トラベル:最大 3500 x 2700mm 精度:≤ 10 µm (TIR 超の場合、マップ済み) 再現性:≤ 2 µm 安定性:≤ 10 nm (1s ptp 内) 移動および停止:< 500ms (300mm の場合) Cst 速度:< 0.01% (<100mm/s の場合) 真直度:< 20um (3000mm 超) 平面度:< 20um (3000mm 超の場合