多軸配置システム

自動半導体産業用高精度

お客様のご要望がどの段階に関するものであるかを問わず、困難な条件下でもお客様のニーズに対応した適切なカスタム化ソリューションを提案します。 当社のチームは、半導体業界の主要企業と25年以上にもわたり協力をしてきました。非常に短期間の開発期間や増産・減産の要請であっても、完璧な対応をすることができます。 私たちは、ナノメートルの安定性、そしてミリセカンドの移動と停止を実現しています。お客様のニーズを十分に把握した上で、統合的モーションソリューションとして具体化します。 POI* における "半導体" 向けの通常仕様 設定:XYTZ または + Z トラベル:最大 600 x 750mm (450mm ウエハー) 精度:≤ 1 µm (TIR 超の場合、マップ済み) 再現性:≤ 0.1 µm 安定性:≤ 2 nm (1s ptp 内) 移動および停止:< 100ms (25mm の場合) Cst 速度:< 0.01% (<100mm/s の場合) 真直度:< 5um (TIR 超の場合) 平面度:< 5um (TIR 超の場合)