情報
EBC 600は、中小規模のRxラボのすべての要件に対応します。 この機械は、品質と部品に妥協することなく、最高品質の製品を生産するコンパクトなシステムです。 EBC 600の特徴は、信頼性が高く、実証済みのコンポーネントと最新のプロセス技術を組み合わせたものです。
多数のポケットを備えたパワフルなEBGシステムは、最大限のプロセス柔軟性を提供します。 アルゴンおよび酸素使用のためのイオン源電力の拡大、水冷プロセスチャンバは、高いプロセス安定性を保証します。 visARプロセス技術を使用することにより、ハイエンドコーティングは、有機レンズまたはガラスレンズを問わず、中小Rx-labsに転送されます。 モジュラー設計は、より高い生産性要件のためにアップグレード可能です。
BENEFITS
コンパクト経済的な真空コーティングシステム
ハイエンド品質コーティング
チャンバー内ハイドロ/疎油性コーティング
実績のある技術
リモートメンテナンス
小さなフットプリント
使いやすいインターフェイス技術
データ
真空:
前真空65 m3/h
高真空2200 l/s(N2)を含む
ゲートバルブシステムイオンソース:最大 210 V と 2 A 2 ガス (O2 および Ar)
EBG:
8 kV/375 mA/12 ポケット
基板ヒーター:
(オプション) 最大 80 °C ボトムヒーター
最大 300 °C
XTAL:
6 MHz シングルヘッド
オプション:
凍結クーラー
フリップオーバー付きマイスナートラップ
消費電力:
平均20キロヴァA。
機械重量:
約1250キログラム(2756ポンド)
寸法(幅×奥行×高さ):
約1575×1165×2070ミリメートル(62×46×82インチ)
容量フルドーム-レンズ直径に応じて:
Ø60/65ミリメートル-60/50レンズ
Ø70/75ミリメートル-42/38レンズ
Ø80/85ミリメートル-32/30レンズ
容量フリップオーバー-レンズ直径に応じて:
Ø60/65ミリメートル— 24 レンズ
Ø 70/75 ミリメートル — 16 レンズ
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