溶融シリカ光学構成部品 AF 32® eco

フラット

製品情報 環境に優しい高透過率ガラス AF 32® ecoは、ショットが独自に開発した特殊なダウンドロー法で製造される無アルカリ板ガラスです。これにより、厚さ0.03～1.1 mmの製品を作ることができます。 表面はファイヤーポリッシュにより低い面粗さの数値を実現しています。さらに、AF 32® ecoの熱膨張係数はシリコンと同じです。そのため、半導体業界における光学パッケージ材料として最適です。転移温度が高いため、約600℃までの高温を要する工程にも使用することができます。 AF 32® ecoはさまざまなウエハー形状で用意しています。また、ヒ素やアンチモンではなく環境にやさしい精澄剤を使って製造されています。 特長 • シリコンと同じ熱膨張係数 • 約600℃までの高温耐性 • 高い透過率 • 12インチウェハに適した大型シート形態 • ファイヤーポリッシュによる低いRa値（面粗さ） • さまざまな厚さ • 厳格な板厚公差管理 • 汎用ツールで切断可能 • ヒ素やアンチモンの精澄剤を使用せずに製造 • 無アルカリ合成 技術詳細 技術データ 寸法 : 円形および方形のウエハー形状など 6"、8"、12"など 面粗さ : 1 nm RMS未満 厚さ : 0.03～1.1 mm 視感透過率 τvD65(t = 0.5 mm) : 91.9% 平均線形熱膨張係数 α （20℃、300℃） （静的測定） : 3.2 X 10-6 K-1 転移温度 Tg : 717 °C 誘電定数 εr （1 MHz時） : 5.1 屈折率 nD : 1.5099 密度 ρ（40℃/h アニール条件） : 2.43 g/cm3