製品情報
ユニークな製造技術
D 263® LA eco薄板ガラス(LA = 低α線)は、無色ホウケイ酸ガラスです。ショットは、独自に開発したダウンドロー法で低α線板ガラスを製造しています。
D 263® LA eco薄板ガラスの極めて低いα線は、入手可能な限りの最も純粋な原材料と厳選した素材を使用した溶解炉によって可能となります。
D 263® LA eco薄板ガラスは、厚さ0.1~1.3 mmで提供しています。この製品は、ヒ素やアンチモンではなく、環境に優しい精澄剤を使って製造されています
特長
• 低α線
• 高い視感透過率
• セラミックと同等の熱膨張係数
• ファイヤーポリッシュによる低いRa値(面粗さ)
• 8~12インチのウエハー形状が可能
• 厳密な板厚公差管理
• 汎用ツールで切断可能
• ヒ素やアンチモンの精澄剤を使用せずに製造
技術データ
寸法 : お客様の仕様に合わせた方形および円形サイズ
厚さ : 0.1~1.3 mm
視感透過率 τvD65 (t = 1.1 mm) : 91.7%
平均線形熱膨張係数
α(20℃、300℃)(静的測定) : 7.2 × 10-6 K-1
転移温度 Tg : 557 °C
誘電定数 εr (1 MHz時) : 6.7
屈折率 nD : 1.5230
密度 ρ (40℃/h アニール条件) : 2.51 g/cm3
α線強度 : 0.0050カウント未満(h ⋅ cm2)