グラス MEMpax®

製品情報 超薄板ホウケイ酸ガラス ショットのMEMpax®はファイヤーポリッシュ表面仕上げのホウケイ酸ガラスで、ショットTEMPAX Float®と同様の化学的・物理的特徴を有しています。 MEMpax®は、より薄い形状の製品を揃えており、優れた表面品質を持つため、研削や研磨を必要としない薄板ウエハーとして使うことができます。ショットMEMpax®は、極薄ホウケイ酸ガラスが必要とされるさまざまな用途に適しています。 MEMpax®はシリコンと同等の線形熱膨張係数を持ち、陽極接合に最適です。低自己蛍光、優れた表面品質、平坦性、均質性の組み合わせが、MEMS（微小電気機械システム）やバイオテクノロジーにおける数多くのアプリケーションの可能性を広げます。 特長 MEMS（微小電気機械システム） • シリコンと同等の線熱膨張係数 • 陽極接合に適応 • 研磨なしで薄いウエハーを実現 • 高い耐熱性および化学耐性 バイオテクノロジー • 高透過率 • さまざまな厚さで提供可能 • 低自己蛍光 • 優れた表面品質 技術データ 寸法 : 2インチから12インチのウエハーまたはシート形状 表面粗さ Ra : < 0.5 nm 厚さ* : 0.1～0.5 mm 標準厚さ* : 0.2 mm, 0.3 mm, 0.4 mm, 0.5 mm 視感透過率 ΤvD65 (板厚 = 0.5 mm) : 92.9% 平均線形熱膨張係数 α（20℃、300℃）（静的測定） : 3.3 · 10–6 K–1 転移温度 Tg : 532 °C 誘電定数εr（1 MHz時） : 4.8 屈折率 nD (未処理ガラス) : 1.4714 密度ρ （40℃/h アニール条件) : 2.22 g/cm3