グラス FOTURAN® II

製品情報 感光性ガラスウエハー FOTURAN® II は 実績のある FOTURAN® を改良した感光性ガラスです。　連続溶融で製造されるため均一性に優れています。 FOTURAN® II はUV露光と熱処理を施すことにより結晶化する感光性ガラスです。　結晶化した部分は高アスペクト比でエッチングすることができ、非常に微細な構造やビアを形成することができます。　二度目の露光と熱処理を施すことにより、更にガラスセラミックにすることもできます。　 構造化されたFOTURAN® II は、半導体チップと半導体パッケージングプロセスに適用することができます。　FOTURAN® II は、フォトレジストを使わずに標準的な半導体製造装置を使って加工することができます。 特長 • 高い均一性:: 先進的な溶融法による安定性と再現性の高い感光特性 • 高アスペクト比で非常に精密な構造化が可能 • フォトレジスト無しで構造化が可能 • バイオ領域での実績: 高い温度・化学安定性と、低い自己蛍光 • 高透過率　（可視光および非可視光） • 環境に優しい: EU-RoHSや EU-REACHなどの規制に対応 • 長年に亘る実績: 30年以上の実績と多数の使用例