走査型電子顕微鏡用エレクトロンビーム源 SEM 20

SEMおよびオーガーのための電子源は25のmmの作動距離で25 kVのビームvoltage/0.5 nAのビーム流れで点サイズでよくより20 nm、実験する。 1つ- 25のkeV熱分野放出電子源(ショットキーエミッター)、最高のビーム現在の>100 nA。 偏向およびstigmationのための二重レンズ系、ビーム直線の四重極、ビーム削除版およびoctopoleが付いている静電気の集中のコラム。 ビーム流れは絶えず電子光学変数の開きによって調節可能である。 内部ビームBのフィードスルーに接続されるファラデーコップの開きに削除による現在の測定設備。 気学的に作動させたコラムの遮断弁。 必須の供給源地の真空<1 X 10-8のmbar。 源の部屋の側面のポンプ左舷NW 35のCF (2 「OD)。 180のC.の取り付けフランジNW 63のCF (4」OD)へのBakeable。