イオン ビームエバポレーター EFM 6

加工

蒸発区域> 50のmm るつぼcapacitiy 10までcm3 ワイヤー、棒またはるつぼからの蒸発 統合された冷却されたシャッター 最低圧力上昇のための水冷却 焦点プロダクト EFM 6の蒸化器は大規模にEFMの製品範囲を拡張する。 10までcm3のNW 63のCF (4.5 " OD)の基礎フランジそしてるつぼ容量を使って、EFM 6の把握約10倍EFM 3.その材料。 既に短い作動距離に蒸発区域は理想的に2 "と4 "間の基質に適するEFM 6を作る直径の50のmmより大きい。 統合された変化モニターおよびシャッターを特色にして、EFM 6は中型の蒸化器の範囲の独特な用具、適している補助的単一層の成長のためにしかしまた厚いとらわれのパッド等のためだけに。 延長サービス周期のために、EFM 6は二重フィラメントが装備されている。 大きいるつぼを熱する必須の高い発電はEVC 1200年によって供給される。