イオン ビームエバポレーター Triple EFM

加工

蒸発区域8.5、11そして15のmm 作動距離93 mm (10のmm) 3つの独立した細胞かフィラメントはモニターを溶かす 混合の成長の間の混線無し evaporantsの後部ローディング 焦点プロダクト EFM 3の蒸化器の設計思想に基づいて、三重EFMはワイヤー、棒またはるつぼからの材料の広い範囲の蒸発のための3個の独立した細胞を特色にする。 各細胞は別のフィラメントおよびHVの供給が混線を(300 Wそれぞれ)防ぐために装備されている。 3つの独立した変化モニターは混合物の管理された化学量論的な成長を可能にする。 必要な多位置シャッターは精密な投薬および同時か連続した蒸発を可能にする(位置を「開けなさい」: 1、2、3、1+3、2+3、1+2+3)。 沈殿区域は3つの開きの1つの選択によって支配される。 3つの蒸発ターゲットはフィラメントに関して直線のために3つの25のmmに独自にZ移る取付けられる。 この特徴は多ポケット器械が付いている棒からの蒸発を可能にする。 目標資料は後部(3x NW 16のCF)から容易に補充することができる。