バルブヒ素クラッカー

クルーシブルの容量 300cm ³ または500cm ³ 大きなバルブ開口部、 正確で非常に高速なフラックス制御 高純度動作条件 簡単な取り扱いと補充手順 統合 された水冷エアフローカバー弁ヒ素クラッカーソースは、III-Vの高性能な成長のために設計されています 材料を使用します。 As4またはAs2 昇華に高度に特化しており、300cm ³ または500cm ³ の大きなるつぼ容量と正確で高速なフラックス制御を組み合わせています。 2 桁以上の圧力範囲に対するフラックス制御は、一体型バルブ機構によって提供されます。 典型的なオン/オフ比は、圧力読み取りの約 4 桁です。 バルブの開口部が大きいため、開いたバルブ位置でのヒ素リザーバの効率的なポンピングが可能です。 バルブユニットは、手動またはバルブ制御ユニットで操作することができます。 統合された水冷エアフローカバーとセルおよびバルブユニットに選択された材料の使用は、高純度の動作条件を保証します。 集積クラッカーユニットの動作条件により、ソースの動作モードをAs4からAs2の成長に簡単に変更できます。