光電子分光器 NanoSAM Lab

プロセスMCPAuger

UHVジェミニ電子カラム： 最高の空間分解能 最小 Eビームスポットサイズ 独自の低エネルギー性能 効率 SEM、インレンズSED NanoSAM 電子分析器： 可変エネルギー分解能 優れた感度、マルチチャンネル検出 サンプル処理： フレキシブルサンプル サイズ 可変サンプル温度（50 ～ 500K） サンプルチルト 60 NanoSAM Labは、小規模構造物の解析に最適なツールです。 UHV ジェミニ電子カラムのユニークな性能によって駆動され、走査型オージェ顕微鏡（SAM）では5nm 以下、SEMでは3nm 以上の比類のない分解能を保証します。 他のAugerツールとは対照的に、非常に優れた分解能は標準 20keVビームエネルギーだけでなく、5keVでもSAMの分解能は10nm 以下のままです。 これにより、オージェ断面が高く、定量分析のために十分に文書化されたパラメータ範囲での操作が可能になります。