アドバンス(垂直)型プローブカードは、カンチレバー型プローブカードではできなかった「多数個測定」、「ウエハ一括測定」が可能です。 コンタクトプローブの位置精度や高周波測定、および大電流測定にも強く、ハイスループットに優れたプローブカードとなっております。また、ユーザー様でのメンテナンスが容易となり、運用面でも最適の方法をご提案できます。
主な対象デバイスとして、エリアアレイデバイス(WL-CSPなど)やフリップチップデバイス(SoCなど)、ロジック製品(マイコン、SoCなど)に広く適用できるプローブカードです。
プローブカードの構成
アドバンスト(垂直)型プローブカードは、「プローブヘッド(ハウジング)」と「プローブカード基板」を組み合わせた構成となっております。プローブヘッドは弊社のコンタクトプローブ・加工品を使い、全て自社で製作をいたします。そのため、自由度の高いご要望にお応えできます。
プローブカード基板は大きく分けて「専用基板」「汎用基板」の2種類に分けられます。「専用基板」は、主に特殊用途・量産用途に使われ、「汎用基板」は試作・開発・少量生産品などに用いられるケースが多いです。
エンジニアリングプラスチック(樹脂)もしくはセラミックスを用途に合わせた形状に切削加工し、コンタクトプローブを固定するブロックです。目的用途によって、樹脂材料をスミカスーパー、ユニレート、トップファイン、セラミックス(ジルコニア・ホトベールⅡ)など選定し、最適な条件でご提案します。