フルスケール流量 (H2O) - 2 - ml/min -
精度 (H2O) - 5 - % -
繰り返し精度 (H2O) - 0.5 - % -
フルスケール流量 (IPA) - 2 - ml/min -
精度 (IPA) - 10 - % -
繰り返し精度 (IPA) - 0.5 - % -
最高使用圧力 - 12 - bar -
流体コネクタポート - ダウンマウント - -
Generic
供給電圧 - 3.2 - 3.8 - V -
最大供給電流 - 6 - mA -
インターフェイス - I²C,RS485 - -
サイズ (LxWxH) - 15 x 30 x 6.5 - mm³