質量流量センサー SFM5330

密度エアOEM

フルスケール流量 - 1, 2 and 5 - slm - フルスケール流量 - 50, 100, 200 and 500 - sccm - 精度 - 0.2%FS or 2% SP - - 最高使用圧力 - 10 - bar - キャリブレーション - Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 - flow - 流体コネクタポート - ダウンマウント - - Generic 供給電圧 - 14 - 26.4 - V - 平均供給電流 - 50000 - uA - 最大供給電流 - 320000 - uA - インターフェイス - RS485 - - サイズ (LxWxH) - 34 x 25 x 62.2 - mm³