質量流量調節器 SFC5400

ガス用デジタルアナログ

マスフローコントローラー「SFC5400」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御し、広いダイナミックレンジで測定可能です。設定変更が自在な「SFC5400」の本体ボディーは金属製です。さらに、様々なインターフェースと様々な流体接続が可能で、50sccm~200slmの最大流量を測定できます。センサー信号は、チップ上で校正、温度補償されたデジタル信号に直接変換されます。複数のガス校正データを1つのデバイスに保存できます。さらに、マスフローコントローラーは、動作中のガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックすることもできます。マスフローコントローラー「SFC5400」は汎用性が高いので、産業機器および医療アプリケーションに理想的なソリューションとなります。 マスフローコントローラー「SFC5400」は、当社の全てのセンサーと同様に、高精度センサー素子とアナログおよびデジタル信号処理回路を1つのCMOSチップ上に統合し、優れた性能を発揮する画期的なCMOSens®技術を基にしています。高品質の材料と組み合わせることで、耐久性の高い、非常に高速で高精度なマスフローコントローラーとなっています。 マスフローコントローラー「SFC5400」にはバルブのないバージョンもあります。マスフローメーター「SFM5400」は、マスフローコントローラーと同じ性能、特性を持ち、同様のアプリケーションで使用されますので、これらを組み合わせて使用することも可能です。 ※マスフローメーター「SFM5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。 所要数量の多いお客様のプロジェクトには、お客様の特定のご要望に合わせてマスフローコントローラーを開発いたします。