質量流量調節器 SFC3000

ガス用デジタルOEM用

マスフローコントローラー「SFC3000」は、広い範囲のガスフローを高速かつ正確に制御することができます。革新的なCMOSens®技術を搭載し、高精度・高速整定時間を実現します。デジタル校正され、温度補償されたセンサー信号は、デジタル制御回路でバルブを制御する信号に直接変換されます。 SFC3000は、フルデジタルの小型マスフローコントローラーで、量産型のOEMアプリケーションに適しています。安定性と再現性に優れ、分析測定機器に最適です。複数のガスタイプや制御範囲をソフトウェアで校正し、切り替えることができます。 仕様 マスフロー 精度 - ±0.2sccm ± 2% SP - - 流体コネクタポート - ダウンマウント - - Generic 供給電圧 - 14.25 - 15.25 - V - 最大供給電流 - 330000 - uA - インターフェイス - RS485 - - サイズ (LxWxH) - 70 x 25 x 73 - mm³