Sensirionのマスフローコントローラー「SFC4000」は、応答時間が速く、広い範囲のガスフローを高速かつ正確に制御することができます。
CMOSens®技術を搭載し、デジタル校正され、温度補償されたセンサー信号は、アナログ制御回路でバルブを制御する信号に直接変換されます。この原理により、マスフローコントローラーは電磁干渉の影響を受けません。SFC4000は、アナログインターフェース(0~5V)を備え、安定した高精度のガスフロー制御を実現します。DC14~24Vのユニポーラ電源が必要です。
仕様
マスフロー
精度 - 0.2%FS or 2% SP - -
流体コネクタポート - Swagelock, VCO, VCR, Downmount - -
Generic
供給電圧 - 14 - 26.4 - V -
平均供給電流 - 50000 - uA -
最大供給電流 - 320000 - uA -
インターフェイス - アナログ電圧出力 - -
サイズ (LxWxH) - 105 x 38.5 x 90.5 - mm³