ガス浄化装置 Sertronic POU

SertronicのSubtronic POUの一連の清浄器はガスにある不純物を除去するために設計され、超純粋な場合の生成を可能にする。 それらはN2およびArのような気高いガスからのO2、COおよび二酸化炭素を含んでいるガスを取除く。 それらはマイクロエレクトロニクスのための乾燥ライン、中立ガスおよび中立ガスを含む適用のために一般に利用される。 Subtronicの清浄器は500までNm3に達する容積の処置を可能にする次元の測定を展示する。 それらは1つのppbで純度率をそのおおよそ遊ばす。