LEDプラント向けアンモニアガス中の微量水分を測定するDF-740
DF-740は、Tunable Diode Laser(TDL)センシング技術を用いた、UHPグレードアンモニア中の微量水分測定装置です。
LEDプラントにおけるアンモニアガス製造の品質管理のための微量水分測定
DF-740は、LED工場で使用されるエレクトロニクスグレードのアンモニア(NH3)中の微量な水分をモニターするために特別に設計されています。業界をリードするTDLセンシング技術と堅牢なヘリオットセルの採用により、10ppb~10ppmという極めて広い測定レンジを実現しています。
また、水分は最小限の光学部品にしか接触しないため、ミラーの反射率低下の影響を受けず、安定した正確で一貫性のある高速応答測定が可能です。
また、長期無人運転に対応し、大幅なコスト削減を実現します。また、安定性の高い光学式TDL技術により、メンテナンスは最小限で済み、ゼロ・ドリフトにより校正間隔を大幅に延長することができます。
高安定なTDL測定
LED製造のバルクガスチェックで電解NH3の品質チェックを行う場合、高い測定精度と優れた安定性、そして長時間の無人運転を実現する装置が必要となります。また、ミラーの反射率低下の問題を解決する堅牢な設計が必要であり、さらに広いモニタリング範囲も必要です。どのような用途であっても、継続的なコストを削減し、運用効率を高めることができる水分計が必要です。私たちは、お客様が妥協する必要はないと考えています。
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