DF-749水分計はUHPガスの純度をチェックします。
ServomexのTunable Diode Laser (TDL)センサーを用いたDF-749は、様々なバックグラウンドガス中の超高純度(UHP)電子ガスのチェックのために微量/超微量水分測定を提供する。
安定性の高いTDL測定
妥協のないソリューション
簡単なメンテナンスと継続コストの削減
DF-749は、窒素、水素、ヘリウム、アルゴン、酸素など、さまざまなバックグラウンドガス中の微量および超微量の水分コンタミを測定します。
LCDやLEDの製造に使用されるUHPガスの品質チェックに理想的なDF-749は、コンパクトな形状で、カートまたは移動式で簡単に持ち運びができます。堅牢なハードウェア/ソフトウェア設計により、UHPガスチェックにありがちなドライダウン時間を実質的に排除します。
250pptの超高感度検出下限(LDL)を提供するDF-749は、業界をリードするTDLセンシングテクノロジーを採用し、超高信頼性のベースライン測定と高速応答を実現します。
安定性の高いTDL測定
最新のLCDおよびLED製造プロセスでは、高純度エレクトロニクスグレードガス中の水分汚染物質の超微量品質測定が必要です。このような要求の厳しいアプリケーションでは、複数のバックグラウンドガスにおいて高精度と超低検出下限を実現できる分析が求められます。アプリケーションの要件に関係なく、運用効率も提供できる水分計が必要です。私たちは、お客様が妥協する必要はないと考えています。
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