ステッパー NPS300

先進的な研究開発とパイロットラインを重視したNPS300は、ナノインプリント用に設計された高精度で高荷重のステッパーです。 0.5μmの精度でナノ構造を複製するために最適化されたNPS300は、アライメントされたホットエンボス・リソグラフィーとUV-NILを同一プラットフォーム上で組み合わせることができる史上初のツールです。 NPS300は、20 nm以下の形状を250 nmのオーバーレイ精度で印刷することができます。 その柔軟なアーキテクチャーは、優れたプロセス再現性と、最大300mmまでのウェハー上にシーケンシャルなステップ＆リピートモードで大面積をパターニングするユニークな能力を提供します。 繰り返しパターンを特徴とする大型スタンプを低コストで製造することができる。 - 精度±0.5μm - 最大300mmウェハーのステップ＆リピートモード - 自動スタンプピックアップ - エアベアリング技術と花崗岩構造により、長期安定性と信頼性を確保 - 平行度の制御により、大きな力がかかっても非常に高い精度を保証 - ハンドフリー/全自動キャリブレーション - 自動サイクルおよびオペレーター非依存 - 高剛性設計による高い歩留まり - 開発のためのプロセス記録、生産追跡のためのログファイル