絶対圧力センサ 225

メンブレンアナログDC

セトラのモデル225は、高純度ガス供給システム、半導体プロセス、および超クリーン操作、高スループット性能、優れた長期安定性を必要とする制御アプリケーションに理想的です。 GCT-225は、0.11 in3という低いキャビティ容積で設計されており、パーティクルの巻き込みを実質的に排除し、簡単にパージすることができます。すべての接液部は316L VIM/VARステンレス鋼で、5 Ra (最大7 Ra.) のパッシベーション処理により、表面の凹凸をなくし、耐腐食性に適した表面化学を実現し、コンタミのないガス分配を保証します。すべてのセンサーは質量分析計によるヘリウムリークテストを受け、1×10-9 ATMCC/sec.です。 モデル225シリーズは、ゼロとスパン調整用の12回転ポテンショメータに簡単にアクセスできる回転式カバーが付属しています。標準のスイベル・オスまたはメスのフェイス・シール圧力フィッティングは、半導体産業の要件を満たしています。さらに、他のいくつかの継手スタイルが利用可能です。 225は、5VDC、10VDCまたは4-20mA出力で提供される場合。 6フィートのマルチ半導体ケーブルまたはバヨネットコネクターが電気的終端用に提供されます。セトラの特許取得済み可変容量センサーは、VIM/VAR 316Lステンレス鋼ダイアフラムと絶縁電極板を特徴としています。センサー本体と電極板の間に可変コンデンサーが形成されています。圧力が増加すると、ダイアフラムがわずかに丸くなり、静電容量が減少します。 この静電容量の変化を検出し、高精度なリニアDC電気信号に変換します。セトラ独自のカスタム集積回路は、特許取得済みのチャージバランス原理を利用し、事実上EMI/RFIに対応しています。 用途 - ガスキャビネット - 高純度ガス供給システム