静電容量式圧力スイッチ 730

ダイヤフラム式絶対ガス用

SetraのModel 730は、太陽光発電、半導体、産業市場におけるプロセスの制御に不可欠な低真空圧力範囲を測定するための、高精度キャパシタンスマノメーター（CDG）です。読み取り精度の 0.5% と正確な分解能により、730 は競合他社よりも好ましい選択肢となっています。730は、すべてのInconel® 接液材料を利用し、半導体プロセスで積極的な媒体と共に使用することができます。730の直接測定設計により、アプリケーション内のガス混合物の組成に関係なく、媒体の正確な測定が可能です。 要求の厳しいアプリケーション向けの高性能-モデル730静電容量マノメータは、要求の厳しい半導体および産業用真空アプリケーション向けに、1つのダイアフラム可変静電容量検出素子を使用します。読み取り精度、高分解能、広いダイナミックレンジの比率、730 は、重要な製造プロセスに最適なアイデアです。 Inconel® デザインとの多彩な互換性-730は、すべての接液部品にInconel® を使用して設計されています。Inconel® は、半導体および産業用真空プロセスで使用される腐食性媒体に対して高い抵抗性があります。それらの材料は、すべての溶接構造とともに、アプリケーション内の長寿命を保証する。 直接圧力測定-モデル730は、使用時点における圧力変化を直接測定するダイアフラムを使用して設計されています。業界の他のキャパシタンスマノメータとは異なり、730は直接圧力を測定します。測定するガス混合物とは無関係です。これにより、730は間接圧しか測定できない圧力計よりも高い精度を実現できます。