用途
SEM(走査型電子顕微鏡)、電子ビーム、金属3Dプリンター、真空ガン、イオンビームエッチング、集束イオンビームリソグラフィー、科学実験。
WismanのEMシリーズは、走査型電子顕微鏡の電子ビームに電力を供給するように設計されています。コンパクトなパッケージで加速パワー、バイアスパワー、フィラメントパワーを提供します。同時に、一般的に使用されている電子顕微鏡用のシンチレータ電源、PMT電源、コレクタ電源を統合しています。Wisman独自の高電圧設計とパッケージング技術により、EMシリーズの電子顕微鏡用高圧電源は、サイズ、コスト、性能において顕著な改善を遂げました。EMシリーズは、優れた調整能力、高信頼性、低リップル、高安定性を提供します。加速電源電圧は0~-30kV、電流は300uAです。EMシリーズは、基準加速器サスペンションバイアスとフィラメント電源を提供します。電源は完全デジタル通信制御を採用し、外部ノイズの影響を最小限に抑え、アースを基準とした加速極電流表示を提供します。WismanのEMシリーズは、アーク、短絡保護、過電圧保護、過電流保護機能を備えています。
アクセラレータ電源
高電圧出力:
出力電圧:
グランドに対して0V~-20kV全負荷
負荷調整:<±100ppm(無負荷から全負荷まで)。
ライン調整:<±100ppm (入力電圧変更 10%).
さざ波:<10ppm
温度係数: 25ppm/°C
安定性: 1時間のウォーミングアップの後の10ppm/3分
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