DC/DC電源 HEM

ISOモジュール式高電圧

Wisman 高電圧電源 HEM シリーズは、イオンビーム集束専用の包括的なマルチ出力高電圧電源です。代表的な用途としては、透過型および走査型電子顕微鏡、半導体分析、光ドライブヘッドのフライス加工および修理、イオン、ビームエッチング、集束イオンビームリソグラフィーなどが挙げられます。モジュラー設計方式により、個々のコンポーネントを簡単に構成し、共通ラック内の大型シャーシに組み立てることができる。インターフェース、ロジック、制御回路は表面実装技術により、コストとサイズを最小限に抑えている。加速電源、フィラメント電源、極性吸収電源、極性抑制電源、レンズ電源を内蔵。超低出力リップル、優れた調整率、安定性、温度ドリフト、精度。特許取得の高電圧サスペンションとデジタル制御技術。HEMシリーズの高精度モジュールは価格競争力があり、OEMアプリケーションに最適です。 代表的アプリケーション 透過型走査電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 半導体分析 加工・修復 イオンビームエッチング 集束イオンビームリソグラフィー リップル 2ppm 仕様 加速器出力 リップル：70 mV P-P、0.1 Hz～1MHZ ライン・レギュレーション：入力変化±10%（100mVの場合 負荷変動：±0.01%、最大電圧、全負荷変動 安定性：ウォームアップ2時間後、1.5V/10時間 温度係数：25 PPM / °C エクストラクタ電源 リップル30 mV P-P、0.1 Hz～1 MHZ、30μA以下 ライン・レギュレーション：入力±10%変化は100mV 負荷変動：±0.01%、最大電圧、全負荷変動 安定性2時間予熱後、500mV/10時間 温度係数：25 PPM / °C