代表的なアプリケーション
走査型電子顕微鏡 (SEM)
電子ビームコントローラー
WismanのSEMシリーズは、走査型電子顕微鏡(SEM)カラムを駆動するために特別に設計された統合型多出力高電圧電源です。このアプリケーションにおけるWismanの広範な知識により、SEMの厳しい要件を満たすためにカスタマイズ可能な一連の技術プラットフォームを開発することができました。
主加速電圧は高安定の30kV電源で、電界放出、冷陰極、ショットキー電子源を駆動するために必要なフローティングフィラメント、エクストラクタ、サプレッサ出力が統合されており、19.5インチラックにマウントするためのエクステンダを備えたコンパクトなソリューションです。すべての出力は、超低出力リップル、優れたレギュレーション、安定性、温度係数、ドリフト、精度仕様で提供されます。それぞれのフローティング・ソースの絶縁と制御は、Wisman独自の高電圧絶縁技術により提供されます。
この統合SEMシリーズ電源システムのお客様による制御は、光ファイバーインターフェースを介して行われます。すべての高電圧安全インターロックはフェイルセーフのハードウェアベースの設計で、SEMはCEマークを取得し、適用されるIEC、UL、およびSEMI規格に準拠するように設計されています。WismanのSEMは、低リップル、微小放電、ppmレベルの安定性という卓越した性能を提供し、これまでにない画質と解像度を実現します。
仕様
突入電流は1秒間で6アンペア未満です。
安全ヒューズ:外部から交換可能な5 x 20mmのセラミック・ヒューズで、ヒューズ値が表示されています。
漏れ電流ケースへの< 200μA
電圧: グランドに対して0V~-30kV全負荷
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