電圧アンプ ECA

スイッチング高電圧バイポーラ型

ECAシリーズは、静電チャック（Eチャック、ESC）用の高電圧アンプです。極性切替や強制接地に加え、ウエハ検査ニーズに対応したウエハモニタシステムも搭載しています。さらに、広い電圧範囲により、クーロンおよびジョンセン・ラーベック静電チャックにも対応しています。 代表的なアプリケーション 静電駆動マテリアルハンドリング 半導体ウェハー処理 機械的ハンドリングに敏感なフラットシートやその他の加工材料の非機械的搬送 特徴と利点 ウェハーセンサーによる信頼性の高いクランプ/リリース状態検出 アンプ構造設計による高速応答(「リレー極性反転なし」設計による高信頼性と長寿命) 「2チャンネル独立制御（オプション）」、「センタータップ電圧設定（オプション）」により、様々なチャック/リリース動作に対応。 LAN、USB、RS-232Cデジタルインターフェイスを装備。 ローパスRFフィルター内蔵（13.56MHz） オプションCT センタータップバイアス 0～±[最大レート電圧-電圧設定値］ オプション ET イーサネットCATインターフェース [近日公開］ オプションDS デュアルチャンネル独立コントロール オプションAC オプションL7 出力高圧ケーブル7m×3 (CTまたはDS選択時は2本）