電圧アンプ ECA

スイッチング高電圧バイポーラ型

典型的なアプリケーション 静電駆動式材料ハンドリング、半導体ウェハー処理、機械的ハンドリングに敏感なフラットシートやその他の加工材料の非機械的搬送 ECAシリーズは静電チャック（Eチャック、ESC）用の高電圧アンプです。極性切替、強制接地に加え、ウエハ検査ニーズに対応したウエハモニタシステムを搭載しています。さらに、広い電圧範囲により、クーロンおよびジョンセン・ラーベック静電チャックにも対応しています。 特長と利点 ウェーハセンサーによる信頼性の高いクランプ/リリース状態検出 アンプ構造設計による高速応答(「リレー極性反転なし」設計による高信頼性と長寿命) 「2チャンネル独立制御(オプション)」と「センタータップ電圧設定(オプション)」により、様々なチャック/リリース動作に対応。 LAN、USB、RS-232Cデジタルインターフェースを装備。 ローパスRFフィルター（13.56MHz）内蔵 オプションCT センタータップバイアス 0～±[最大レート電圧-電圧設定値］ オプション ET イーサネットCATインターフェース オプション DS デュアルチャンネル独立制御 オプション AC AC 100V～240V 1φ入力 オプション L7 出力高圧ケーブル 7m x 3 (CTまたはDS選択時は2本）