DC/DC電源 EC

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Wismanのソフトウェア駆動静電吸着式電源ECシリーズは、要求の厳しいアプリケーションに幅広く対応する機能を備えています。本装置はWismanのアンプ技術を採用しており、他の電源と比較して最大3倍の効率とスループットの向上が確認されています。裏面ガスエラーの低減、スループットの向上、ウェーハのスティック／バースト問題の解消；過電流、ウェーハの有無、ウェーハクランプしきい値、クランプ電圧、オフセット電圧、内部または外部振幅／オフセット制御などのパラメーターの制御；調整中の振幅／オフセットおよび出力制御の多用途性；リアパネルI/O、シリアルコンピューターコマンド、またはフロントパネルコントロールを使用した出力制御；カスタムクランプおよびクランプ除去シーケンスと波形の設定。Wisman ECの多用途性と信頼性の高い性能により、設備内の各独自のツールやプロセスに新たなコストを追加することなく、複数の独自のツールやプロセスで使用することができます。 製品の特徴 ロック可能なフロントパネル制御インターフェース 各ユニットにトレーサブルな校正証明書を添付； クーロン式およびジョンセン・ラーベック式 ESC テクノロジーに対応； このセクションでは、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースを使用して、静電チャックの設定ファイルを装置にアップロードし、装置に保存する方法について説明します； ウェーハ検出には、ウェーハフリー、ウェーハ有り、ウェーハクランプ状態が含まれます； アプリケーション アプリケーション：静電駆動マテリアルハンドリング 半導体ウェハー処理 機械的ハンドリングに敏感な平板またはその他の加工材料の非機械的搬送