高圧電源出力部(オプション)
1.出力直流高電圧:0~最大電圧は連続調整可能
2.出力電流:0~最大電流連続調整可能
3.高圧制御: ユーザーは DC 0~10V の電圧信号 =0~maximum 電圧を置きました
4.高電圧表示:電源は高電圧実測値測定チャンネルを持ち、0~10V信号を出力する。この信号は0~最大電圧に対応し、高電圧フィードバック信号としてユーザーに入力される。
5.ライン調整:入力電圧変化10%、高電圧出力変化≤0.01
6.静的な負荷調整: 負荷の流れ0最高の流れ、高圧出力変更≤0.01%の間
7.動的負荷調整: 負荷の流れ0最高の現在のステップ変更、高圧出力変更≤0.01%間
8.出力電圧リップル:≤0.1
9.過渡応答:短絡か排出の後で、それは 50ms 内のセットの電圧に戻ります
10.温度係数:25ppm/℃の
11.安定性1時間予熱後、1時間あたり0.1%未満。
グリッドバイアス出力
1.出力直流電圧DC0~2000V、1mA、電圧は連続調整可能
2.格子バイアス制御調節: 2 つの制御方式(開ループ制御および閉じたループ制御は、高圧電源ボディまたはリモート・コントロール インターフェイスのスイッチを置きます)
a) 開ループ制御の: 格子バイアス DC 0~-2000V に対応するユーザーの出力 DC 0~10V の電圧信号
b) クローズドループ制御の場合:グリッドバイアス電圧を自動的に調整し、ビーム電流を安定させる。
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