DPシリーズ3kW高圧電源は正または負の高電圧を出力でき、出力範囲は8kVから100kVです。DP高圧電源のフロントパネル機能(ローカル制御用
リアパネルのアナログインターフェースにより、リモートコントロール、標準ネットワークポート、RS232デジタルインターフェースが可能です。高速応答、高速立ち上がり、高電圧安定性という特徴があります。
柔軟なデジタル制御とアナログ制御で、低リップル、低ノイズ、安定した調整、アーク保護が可能です。DPは炭化ケイ素と他のインバータを使用し、様々なアプリケーションに適しています。
半導体製造、真空蒸着などの要求の厳しいアプリケーション。DP高圧電源の動作機能の多くは、お客様の特定の要件に合わせてユーザーが設定することができます。
アプリケーション
加速器, コンデンサ充電, 電子ビーム, イオンビーム, イオン注入, 半導体製造, フォトリソグラフィ, 電子部品のエージング, 高電圧絶縁試験, 静電気応用, レーザー, 高出力無線周波数トランスミッタ, X線システム, 科学実験, 産業応用
オプション機能
200 180~220 VRMS、三相入力、48~63 Hz(SEMI 準拠のため必須)
400 340~460 VRMS,三相入力,48~63Hz(CE準拠のため必要)
仕様
安定性安定性:30分後、毎時0.01%、8時間毎に0.05%。
リップル電圧:0.05%。
温度係数:≤100ppm/℃。
電圧及び現在の表示:0~+10Vdcは0~100%定格電圧出力、出力インピーダンスZout=10kΩ、精度:±1%に対応。
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