ゲートバルブ CCD series

電動式真空モーター駆動

CCDシリーズ電動超高真空ゲートバルブ 適用範囲(Pa) - 105～1.3×10-7 ガス漏れ率(Pa.L/S) - ≤1.3×10-7 ≤1.3×10-7 バルブの焙煎温度 - ≤150 （ドライブ装置を除いて バルブのプレートを開いたときの圧力差(Pa) - ≦3×103 電源圧力 - AC220V/50Hz オンまたはオフ時間S - ≤50