RTASシリーズは、金属部品、ステンレス鋼オブジェクトの一般的なグラファイト、漆黒、青、銅、青銅色に統合された複数の蒸着ソースマシンです。特に高級な高級部品に使用されます。
応用
ジュエリー、時計のストラップと本体、ステンレス鋼のスポーツ、筆記具
家電
円弧およびシリンダースパッタリング蒸着ソースを備えたRTAS。 DCスパッタリング、MFスパッタリング、アーク蒸発、イオン源などの複数の組み合わせ。1台の機械ですべてを利用できるため、さまざまなアプリケーションを満たすための構成の柔軟性が高くなります。特に小さなコンポーネントの美的コーティング:漆黒、銅、真鍮、クロム色。
DCと比較して、中周波スパッタリングは、コーティングの大量生産、特に光学コーティング、ソーラーパネル、多層、複合材料などの表面に誘電体および非導電性フィルムコーティングを成膜するための主要な薄膜スパッタリングテクニックになっています。映画など
MFスパッタリングターゲットは常に2セットで存在していました。 2つのカソードを使用し、AC電流を前後に切り替えて、反転するたびにターゲットの表面をクリーニングして、誘電体に蓄積された電荷を減らし、アークを発生させて液滴をプラズマに噴出させ、均一な薄膜の成長を妨げます。ターゲットポイズニングと呼ばれるものです。