スパッタリング式塗工機 RTSP-400

実験用

1. UHVの放出させるシステムはが装備されています 半伝導性および非導電材料（Si、SiO2、Al2O3、Si3N4、Cr2O3、ITOおよび他の材料）を沈殿させるDCの放出させる銃。 伝導性の物質的なアルミニウム、銀、金等を沈殿させるRFの放出させる銃。 DCおよびRFの電源の源は交換された適用範囲が広い場合もあります。 2. UHVの放出させるシステム応用の 重合体材料、木、低温の生地の伝導性のコーティングより少しより100の℃ ガラス、製陶術および他の誘電材料の伝導性のコーティングの適用。 3. 技術的な性能: 3. 1つの最終的な真空圧力:5.0×10-6トルよりよくして下さい。 3. 2.作動の真空圧力:1.0×10-4トル。 3. 3. Pumpingdownの時間:1台の自動支払機から1.0×10-4 Torr≤への3分（乾燥した室温は部屋をきれいにし、空けます） 3. 4.物質的な（放出させる） Al、Cr、Sn、チタニウム、SS、CU…等を金属で処理します。 3. 5.作動モデル:手動で完全な自動的に/Semi-Auto/