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回転スパッタリングカソード RTSP-CS

回転スパッタリングカソード - RTSP-CS - Shanghai Royal Technology Inc.
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詳細

1. 有限要素磁場設計 2.冷却水から隔離された磁石 3. DC/MF、RF電源に対応 4. 高いターゲット使用率 5. 排出方向の調整が可能 6. 高出力密度と優れた均一性 7.バランスとアンバランスモードの選択 8. 目標使用率: > 80%

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