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回転スパッタリングカソード RTSP-PS

回転スパッタリングカソード - RTSP-PS - Shanghai Royal Technology Inc.
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マグネトロンの放出させる源の指定 主要特点 1. 有限な要素の磁界の設計 2. 冷水から隔離される磁石 3. DC/MFおよびRF力と互換性がある 4. 高いターゲット利用 5. 調節可能な出る方向 6. 高い発電密度および優秀な均等性 7. 釣り合った、不均衡なモード選択

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