インラインスパッタリング式貯蔵マシン

キーワード金属ワイヤー、金属ストリップ、撚り玄武岩繊維、撚りガラス繊維、撚り炭素繊維、各種化学撚り繊維、光ファイバー、表面処理コーティングライン、機能性コーティングライン、光学機能性コーティングライン、連続ワイヤー＆ストリップ真空蒸着装置、ナノメートル薄膜蒸着ライン コーティングフィルム...制限なし 蒸着膜 1.1 導電性金属：Al、Cr、Cu、Ti、Zr、Ag、Au、Niなど。 1.2 非導電性金属ベースのフィルム：タンタル(Ta )、TaN、Ta2O5、 シリコン（SiOx）、インジウム（In）、ニオブ（Nb）TiNbNなど。 真空コーティングは、数十年にわたる研究開発の結果、成熟した成膜技術として様々な産業への応用が期待されています。真空コーティング技術を連続的なワイヤーやストリップに適用するには総合的な技術が必要であり、表面特性や機能を変更することができ、その重要な軽量性能は人工知能デバイスに有利である。 気中連続コーティングラインは、大気環境下での洗浄前処理を含む完全な連続コーティングプロセスであり、その後、基板（ストリップまたはワイヤ）が真空チャンバに入り、金属膜が蒸着され、最後にバッファリングチャンバを介して再び大気環境に戻ります。 エアtoエア連続コーティングラインの主要な構造モジュール： A：基板（ストリップまたはワイヤ）洗浄前処理モジュール B: 冷却モジュール C: アニールモジュール D：成膜室 E: ループ装置と真空バッファー室