据え置き型厚さ計 SKM-iFTM series

フィルム用スペクトル反射式

イメージング膜厚計は、透明多層膜の膜厚分布を可視化できる計測ツールです。 分光反射率計を用いることで、0.1nmの膜厚分解能で膜厚分布を可視化することが可能です。 膜厚の均一性を可視化する 顕微鏡視野内の膜厚・膜質を測定し、3次元分布を表示します。 膜厚分解能 ： <0.1nm 分光測定器と同等の良好な膜厚分解能を実現。 波長は450nmから750nmまで、1nmの精度で選択可能です。 高速／最大9層までの多層膜測定が可能 分光反射率計による並列処理が可能。 高度なアプリケーション バンドパス干渉フィルターなどの数百層繰り返し膜、トレンチ構造などの複合多層膜など Effective Medium Approximation (EMA)によるサブミクロンパターン密度推定 レーザーアニールなど局所的な結晶性評価