保護フィルム 5P120A

アクリル研磨用防水・防塵性能

特徴 回路表面のカバー率が高く、研磨時のウェーハの飛散や研削水の浸入を防ぎます。 イオン不純物が極めて少なく、高い清浄性を誇ります。 適度な硬度を持ち、振動や応力を効果的に吸収し、断片化を低減します。 厚みの均一性に優れています。 用途 ウェーハ裏面の研磨工程で使用される保護テープ。