測定用硬度計 DUH-2 series

超音波マイクロ

半導体、LSI、セラミックス、ハードディスク、蒸着膜、薄膜コーティング層など、従来の硬さ試験機では対応できなかった微小領域の材料強度を測定する新しい評価システム。また、プラスチックやゴムの硬さ評価にも使用できます。この硬さ試験機では、試験後の圧痕ではなく、動的圧痕の深さを測定します。これにより、従来の方法では測定が不可能であった非常に薄い膜や表面（処理）層の測定が可能になります。さらに、この同じ方法により、試験片の弾性率を計算するのに必要なデータも得られます。 1.規格に準拠した硬度と材料パラメータの評価 規格に準拠した硬度と材料パラメータの評価（ISO 14577-1 Annex A） 2.弾性率の高精度評価 3.測定分解能0.196μNの低試験力 規格に準拠した硬度と材料パラメータの評価（ISO 14577-1 Annex A） ISO 14577-1（硬さのための計装化圧子試験）の付属書Aに準拠して、圧子を押し込んだときの試料の挙動を測定し、硬さ、弾性率、圧子押し込み時の仕事量を評価します。 弾性率の高精度評価 装置剛性や圧子先端形状*1に基づく補正により、高精度な弾性率評価が可能です。 測定分解能0.196μNの低試験力 0.196μNの高分解能で試験力をコントロール。微小領域や試料最表面の材料強度特性の測定が可能です。