MF 4000 シリーズは、流量アラーム、ガス適合性、その他多くの機能をプログラマブルに設定できるローカルディスプレイを備えています。
この顧客プログラムパネル付きマスフローメータ・シリーズは、当社独自のMEMSセンシング技術による汎用ガスマス流量計測用に設計されています。電子的、機械的インターフェースはお客様のご希望により選択可能です。
汎用ガス質量流量計測
高速応答時間、1ミリ秒までカスタマイズ可能
2種類の標準チャンネルサイズ、03mmと8mm
100:1以上の広いダイナミックレンジ
オプションの機械的および電気的インターフェース
フロントパネルからパラメータ設定可能
アプリケーション
*汎用流量測定
*エアサンプラー/アナライザー
*麻酔装置
*計装機器
*ドライガス用プロセスモニター
*オートメーション
流量範囲
0-2...5 - 0-10... - 50
SLPM
精度 - ±(1.5+0.2FS) - %.
ターンダウン比 - > 100:1
消費電力 - <50.0 - mW
応答時間 - 10(デフォルト、50、100、200、500、1000選択可能) - msec
最大定格圧力 - 0.5 - MPa
最大圧力損失 - 100 (MF4003)/600 (MF4008) - Pa
温度 - - 10-55 - °C
電源 - 8-24 - Vdc
ヌルシフト - ± 30.0 - mV
温度係数 - ±0.12 %/°C
出力 - LED、RS232/RS485/I2C; アナログ 0.5 - 4.5 Vdc
機械的接続 - BSPT (Rc) 1/4
重量 - f30/8(ワンタッチコネクタ付きM) - g
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