差圧センサ FSP2000

熱コンパクトMEMS

FSP2000シリーズ・デュアル圧力センサーは、MEMSサーマル・ピエゾ・センシング技術とスマート電子回路を利用した差圧センサーとゲージ圧センサーのユニークな組み合わせを提供します。検知範囲の設計により、CPAPベンチレーターのような医療アプリケーションに容易に適用でき、CPAP開発の方向性に従って小さなフットプリントで流量とゲージ圧の両方を測定することができます。 FSP2000は差圧±500Pa、ゲージ圧±100cmH2Oまで測定可能です。 仕様 応答時間 1.8 msec 定格圧力 50 kPa 高度補正 完全補正 ウォームアップ時間（最大） 10秒 湿度 0~100 (結露なきこと) %RH 電源、電圧 3.0~5.5 Vdc 電源、最小電流 10 mA 空気流量抵抗 <95 sccm@500Pa 出力リニア、I2C 振動 20g; MIL-STD-883E, Method 2002.4.