FS1100シリーズマスフローセンサーは、Siargo独自のMEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)熱量計と拡散率センシング技術(Thermal-D ®)により製造されています。
を使用して製造されています。この技術は、従来の熱量センシングと比較して、全ダイナミックレンジではるかに優れた直線性を提供し、熱拡散率が類似したガスに対するガス感度を除去し、ガス換算係数と併用することで測定精度を向上させます。また、瞬時の流体温度データを同時に出力し、サーマル・センシング・アプローチの温度性能を向上させます。
---