質量流量センサー FS3000

熱式質量エア

新しいマスフローセンサFS3000シリーズは、当社のThermal-Dセンシングチップを搭載し、特にオートメーションプロセス制御用に設計されています。高精度でありながら、市場製品の中で最も圧力損失が低い。このシリーズは500sccmから1500SLPMまでのフルスケール流量に対応しています。 FS3000シリーズマスフローセンサは、オートメーション及びプロセス制御アプリケーション用に、SiargoのD-Thermalマスフローセンシング技術で設計されています。空気／圧縮空気、酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素に設定を変えることなく容易に適用でき、その他のドライガスやクリーンガスも測定可能です。コネクターはワンタッチ、圧縮フィッティング、その他オートメーション制御アプリケーション用に調整できます。 FS4308シリーズは最大1000SLPMのマスフロー測定が可能です。標準的な電気スイッチング・オプションも組み込まれており、製品はRoHSおよびREACHに完全対応しています。