質量流量調節器 MFC2000

ガス用IP40

MFC2000 シリーズは、クリーンでドライなガスを使用する汎用マスフローコントロールアプリケーション用に設計されています。当社のThermal-Dセンシングチップを使用し、拡散率が既知の非腐食性ガスに適用できます。 MFC2000シリーズ・マスフローコントローラは、流動媒体の熱量と拡散率を測定するSiargo独自のMEMS（微小電気機械システム）熱量計と拡散率センシング技術（Thermal-D ®）で製造されています。従来の熱量センシングと比較したこの技術は、全ダイナミックレンジにおいてはるかに優れた直線性を提供し、熱拡散率が類似したガスに対するガス感度を除去し、ガス換算係数と併用することで測定精度と制御精度を向上させます。また、瞬時の流体温度データを同時に出力し、サーマル・センシング・アプローチの温度性能を向上させます。