質量流量調節器 MFC4000

ガス用

MFC4000シリーズは、高純度フロープロセスが要求されるアプリケーション向けに設計されています。センシングチップはSEMIグレードの防錆フィルムでコンフォーマルにコーティングされています。その他のパッケージ材料も、業界最高水準に厳しく選定されています。